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凈化型勻膠機(jī)

發(fā)布時間: 2019-03-28  點(diǎn)擊次數(shù): 693次

凈化型勻膠機(jī) 型號CKF-411 
凈化勻膠機(jī)是適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。是集成電路及半導(dǎo)體件生產(chǎn)過程中涂復(fù)光致抗腐蝕劑的設(shè)備 
設(shè)備中涂膠部分四個工位單片微型機(jī)控制四個工位同時工作或分別工作,即各工位的運(yùn)轉(zhuǎn)單獨(dú)傳動,轉(zhuǎn)數(shù)單獨(dú)調(diào)節(jié)及單獨(dú)顯示。 
為保證在涂膠工藝中不飛片,設(shè)備中吸頭和氣泵中間有四個電磁閥,同時增加一個負(fù)壓儲氣罐,保證了吸片牢固和可靠性。 
設(shè)備中配有的空氣凈化裝置。 
主要技術(shù)指標(biāo): 
勻膠工位:1個工位 或者 4個工位 
勻膠時間:1-99秒 
勻膠轉(zhuǎn)數(shù):500-8000轉(zhuǎn)/分 
凈化效果:100級(美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)) 
操作區(qū)風(fēng)速:0.3-0.5米/秒(有效操作區(qū)氣流狀態(tài):垂直層流() 
于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠 
外形尺寸:650x750x1620mm 
外體顏色:瓷白色 
1.控制范圍和精度:轉(zhuǎn)速控制范圍為:500-8000轉(zhuǎn),精度為±3% 


2.時間控制范圍為:1-99秒,精度為±5% 
3.轉(zhuǎn)速調(diào)整采用高精度D/A轉(zhuǎn)換,具有128級的精度調(diào)諧。 
4.轉(zhuǎn)速查看智能化。(自動識別哪個電機(jī)開或關(guān))自動轉(zhuǎn)換到開啟的電機(jī)上。可予先選定,也可在運(yùn)行中隨時查看任一電機(jī)的轉(zhuǎn)速。 
5.采用的I2C總線技術(shù)和E2PRAM數(shù)字存儲器,可預(yù)存10組工藝參數(shù)(勻膠機(jī)A型機(jī)可予存10個延時時間,40個電機(jī)轉(zhuǎn)速參數(shù)。B型機(jī)可予存20個時間參數(shù),80個轉(zhuǎn)速參數(shù);顯影機(jī)可保存9個慢啟動參數(shù),30個時間,30個轉(zhuǎn)速參數(shù))。保存的參數(shù)掉電10年不丟失。調(diào)整后的參數(shù)自動保存,簡化了操作。 
6.具有全自動智能控制功能,當(dāng)使用全自動方式時只需放好工件,然后按一下ATART(開始)鍵,吸盤自動打開,定時工作完成后延時6秒電機(jī)停穩(wěn)后自動關(guān)閉吸盤,喇叭鳴三聲,提示完成工作。大大的提高了工作效率。 
7.定時的時間和轉(zhuǎn)速的測量全部由軟件控制,定時部分采用的方式顯示,轉(zhuǎn)速測量部分直接顯示被測電機(jī)的每分鐘轉(zhuǎn)數(shù)。調(diào)整部分由軟件和D/A轉(zhuǎn)換器控制,去掉了原使用CMOS電路采用的撥盤開關(guān)和機(jī)械電位器的機(jī)械觸點(diǎn)。在原基礎(chǔ)上增加了全自動功能,減少了操作程序,避免了頻繁的開關(guān)面板上的按鍵開關(guān),大大的降低了按鍵開關(guān)因頻繁使用而損壞。提高了整機(jī)的可靠性和使用壽命。調(diào)整,啟動,切換,停止,并有提示音。

 

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